熱真空試驗(yàn)箱常見(jiàn)故障的分析和解決方式

　　1、常見(jiàn)故障問(wèn)題

　　某一試件在做熱真空試驗(yàn)時(shí)， 要求在真空度 2。X10-3 Pa時(shí)溫度下降至 - 55 ℃并保溫 2h， 通常狀態(tài)下此時(shí)的真空度會(huì)優(yōu)于 2X10-3Pa， 但在降溫 5min后， 出現(xiàn)了真空度突然下降到 2。5X10-2Pa的故障現(xiàn)象， 如圖 2所示。 為此我們就按表 1進(jìn)行排查。

　　2、 對(duì)故障現(xiàn)象的分析診斷與清除

　　2。1、 斷開(kāi)制冷控制 ， 制冷閥關(guān)閉， 檢查真空計(jì)通訊接口有無(wú)松動(dòng)， 分子泵轉(zhuǎn)速有無(wú)發(fā)生變化， 經(jīng)檢查都正常， 說(shuō)明真空機(jī)組的問(wèn)題能夠清除。

　　2。2、 由于高溫降溫階段出現(xiàn)真空曲線異常， 先觀察在常溫柔高溫狀態(tài)下高真空曲線是否能夠抵達(dá)高真空度要求， 該曲線顯示真空度能抵達(dá) 2X10-3Pa以上， 義務(wù)正常， 說(shuō)明從主電源到各電磁閥的電氣線路正常， 電氣系統(tǒng)沒(méi)有問(wèn)題。

　　2。3、 只管電氣系統(tǒng)沒(méi)有問(wèn)題， 但在 2X10-3Pa真空條件下通入液氮制冷時(shí)， 此故障發(fā)生說(shuō)明故障應(yīng)該發(fā)生在試驗(yàn)箱制冷環(huán)節(jié)。 首先對(duì)箱體各抽氣接口的螺絲擰緊， 在液氮入口處充入壓力0。5kg左右的氮?dú)猓?觀察此時(shí)高真空規(guī)顯示值有細(xì)小變化。

　　2。4、 結(jié)合試驗(yàn)箱的控制過(guò)程進(jìn)一步確認(rèn)故障原因。 由于此設(shè)備熱沉采用壁厚1。5mm 紫銅板作腔體料， 外部液氮盤管用整根長(zhǎng)的紫銅控制作， 由于熱脹冷縮， 在真空室內(nèi)沒(méi)有焊縫， 故判斷液氮進(jìn)入熱沉的外部聯(lián)接處能夠有漏氣現(xiàn)象發(fā)生。 因此 能夠?yàn)榘l(fā)生此故障的原因是電磁閥與金屬波紋管連接真空室的連接處發(fā)生漏氣。

　　2。5、 將連接真空室的金屬波紋管拆開(kāi)電磁閥發(fā)現(xiàn)其內(nèi)一塑料墊片因長(zhǎng)時(shí)間高高溫試驗(yàn)造成老化開(kāi)裂， 對(duì)此電磁閥閥桿重新焊接， 在真空環(huán)境下對(duì)試驗(yàn)箱體熱沉充入液氮，真空度顯示抵達(dá) 2X10-3Pa以上， 試驗(yàn)箱義務(wù)正常。

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